套準容差描述要形成的圖形層和前層的最大相對位移。
套準容差描述要形成的圖形層和前層的最大相對位移。...... 套準容差描述要形成的圖形層和前層的最大相對位移。一般而言,套準容差大約是關鍵尺寸的三分之一。...
套刻對準圖2 套刻偏差套準精度(也稱做套準)是測量對準系統把版圖套準到矽片上圖形的能力。套準容差描述要形成的圖形層和前層的最大相對位移(見圖2)。一般而言...