《大氣壓放電冷電漿炬及其沉積多晶矽薄膜研究》是依託大連理工大學,由王德真擔任醒目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：大氣壓放電冷電漿炬及其沉積多晶矽薄膜研究
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：王德真
- 負責人職稱：教授
- 批准號：10775026
- 申請代碼：A2901
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：38萬元
項目摘要
大氣壓冷電漿炬是一種新的放電模式，它採用同軸電極結構，加低頻或射頻電壓，產生非平衡電漿射流，電漿炬列陣能產生大面積電漿。太陽能作為可再生的潔淨能源，引起人們的高度重視，而多晶矽薄膜太陽能電池是近幾年來太陽能電池研究的熱點之一。由大氣壓冷電漿炬製備多晶矽薄膜，在薄膜太陽能電池研究領域有重要的套用前景。本項目通過理論分析、計算機模擬、實驗診斷及對所製備的多晶矽薄膜的測試，揭示大氣壓非平衡電漿炬及其製備多晶矽薄膜的基本物理與化學反應過程；探索由大氣壓非平衡電漿炬，採用氦氣、氫氣、四氯化矽為放電和反應氣體，高效、低成本沉積多晶矽薄膜的方法和最佳化方案。製備出可用於太陽能電池的多晶矽薄膜。
