大功率脈衝釔鋁石榴石固體雷射器

大功率脈衝釔鋁石榴石固體雷射器是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2012年11月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：大功率脈衝釔鋁石榴石固體雷射器
• 產地：德國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2012年11月26日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

（1）波長（wavelength）：1064nm，532nm，355nm，266nm，213nm；（2）重複頻率：10Hz以及單脈衝輸出；（3）脈衝能量：1064nm波長輸出大於600mJ，532nm波長輸出大於400mJ，355nm波長輸出大於200mJ，266nm波長輸出大於100mJ，213nm波長輸出大於40mJ；（4）能量穩定性（RMS）：1064nm波長輸出優於1.0%，532nm波長輸出優於2.0%，355nm波長輸出優於2.5%，266nm波長輸出優於4.0%。

主要功能

與大功率脈衝雷射直寫儀合用，採用單脈衝干涉成像、掃描的方式進行光刻，倍頻固體雷射器的355nm、266nm、213nm輸出，解析度分別可以達到200nm、150nm、110nm。