多重成像

多重成像是一種為了提高圖形密度的多次進行曝光的光刻技術。

基本介紹

• 中文名：多重成像
• 外文名：multiple patterning

當圖形周期（pitch）低於光學投影系統解析度的限制時，多重成像光刻技術的使用會變得更加明顯。在一次曝光可能不足以提供足夠的解析度的情況下，多重成像對於10nm和7nm節點的半導體工藝和更高的工藝來說是一種較好的解決方法。