多晶納米矽薄膜熱傳導的分子動力學研究

《多晶納米矽薄膜熱傳導的分子動力學研究》是依託中國科學院力學研究所，由湯奇恆擔任項目負責人的專項基金項目。

基本介紹

• 中文名：多晶納米矽薄膜熱傳導的分子動力學研究
• 項目類別：專項基金項目
• 項目負責人：湯奇恆
• 依託單位：中國科學院力學研究所
• 批准號：10342001
• 申請代碼：A1101
• 負責人職稱：研究員
• 研究期限：2003-06-01 至 2003-12-31
• 支持經費：8（萬元）

項目摘要

套用分子動力學方法對高溫退火製備多晶納米矽薄膜實施計算機實驗模擬，求得不同晶粒尺寸的熱傳導物性參數，與已有的實驗結果比較，並用Boltzmann方程進行分析，研究不同晶粒尺寸對熱傳導的影響。豐富材料微尺度熱物性參數的資料庫，為微電子機械系統的器件設計提供參考。