多晶矽雜質是指澆鑄多晶矽含的雜質一般來源於石英坩堝的氧、石墨加熱器或石墨坩堝的碳以及一些金屬雜質。 在多晶矽太陽電池製造的熱處理過程中,氧會沉澱,形成不同形式的矽氧複合體,限制電池的效率。一般澆鑄多晶矽中碳的含量比直拉單晶矽的要高。多晶矽中存在的重金屬雜質對少子壽命是非常有害的,正在利用各種吸雜方法來減少重金屬雜質的影響。