多晶矽生產技術

《多晶矽生產技術》是2009年8月化學工業出版社出版的圖書，作者是鄧豐、唐正林。

基本介紹

• 書名：多晶矽生產技術
• 作者：鄧豐、唐正林
• ISBN：9787122055019
• 定價：30.00元
• 出版社：化學工業出版社
• 出版時間：2009-8-1
• 開本：16開

內容簡介

本書主要講述了改良西門子法生產多晶矽的製備原理。內容包括多晶矽原料製備、原料提純、多晶矽製備、尾氣回收、矽芯的製備等核心內容，同時對超純水的製備，氫氣、氯氣的製備和淨化作了詳細介紹。本書緊密結合生產實踐，注重了理論與實踐的有機結合。

本書可作為高職高專矽材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶矽生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。

圖書目錄

第1章概述1

11矽的簡介1

12矽材料工業概況4

13多晶矽的生產方法7

小結12

習題12

第2章純水的製備13

21水的概述13

22離子交換法簡介14

23去離子水(高純水)的製備工藝15

24離子交換法製備純水17

25純水製備系統主要設備及工作原理19

26純水製備系統運行控制26

27純水製備系統的清洗27

28高純水的測量30

小結32

注釋32

習題32

第3章工業矽的生產33

31工業矽生產原理及影響因素33

32工業矽生產工藝38

33工業矽生產操作41

34工業矽生產設備43

35生產操作及安全控制50

36煙氣淨化利用56

小結63

習題64

第4章氫氣的製備和淨化65

41氫氣的簡介65

42氫氣的生產工藝68

43氫氣的淨化、儲存和運輸71

44氫氣的安全使用73

小結75

習題75

第5章液氯的汽化76

51氯氣的性質76

52液氯的汽化77

53氯的存放和安全使用79

小結83

習題84

第6章氯化氫的合成85

61氯化氫的性質85

62氯化氫的合成原理85

63氯化氫合成工藝過程86

64主要設備及其作用86

65工藝條件選擇和操作要點87

66質量控制要點88

67安全控制89

小結89

習題89

第7章三氯氫矽的合成90

71三氯氫矽製備原理90

72三氯氫矽合成工藝流程90

73三氯氫矽合成的主要設備91

74三氯氫矽合成的工藝條件94

75生產現場操作要點97

小結98

習題99

第8章三氯氫矽的提純100

81三氯氫矽中雜質含量的分析100

82提純三氯氫矽的方法簡介102

83精餾的基本概念102

84雙組分溶液的氣液相平衡107

85精餾原理112

86精餾塔的物料衡算——操作線方程116

87雙組分連續精餾過程的計算126

88精餾提純設備139

89精餾工藝145

小結151

習題151

第9章三氯氫矽氫還原製備高純矽152

91三氯氫矽氫還原的原理及影響因素152

92三氯氫矽氫還原的工藝155

93三氯氫矽氫還原操作要點及事故處理157

94三氯氫矽氫還原工藝質量要求159

95三氯氫矽氫還原工藝中的計算159

96還原生產中的熱能綜合利用160

小結161

習題161

第10章還原尾氣乾法回收工藝162

101重要作用和意義162

102乾法回收的工藝過程163

103四氯化矽的氫化165

小結169

習題169

第11章矽芯的製備與腐蝕170

111矽芯的製備170

112矽芯腐蝕175

小結176

習題177

第12章矽烷法製備高純矽178

121矽烷的概述178

122原料的製取及處理180

123矽烷的發生184

124矽烷的提純189

125矽烷熱分解製備多晶矽191

小結193

習題194

參考文獻195