多參數感測器

多參數感測器，是用於測量各種化學量和物理量參數的感測器。

基本介紹

• 中文名：多參數感測器
• 性質：多功能感測器陣列，
• 用於：測量各種化學量和物理量參數
• 結果：減小晶片面積

現代微機電技術和半導體技術能夠在矽基片上製作微電子積體電路和多功能感測器陣列，用於測量各種化學量和物理量參數。這種感測器成為多參數感測器，表現為單一結構，集成在局部小面積上，能夠檢測一組化學量和物理量。多參數感測器並不是一套簡單的單一功能的感測器，而是為了減小晶片面積和分享數字或準數字輸出等結構高度集中的感測器。高級感測器能同時探測各種參數如溫度、壓力、氣體和蒸汽濃度、味覺、加速度、慣性、電磁場區域等，它能夠產生頻時域輸出信號，攜帶感測元件提供信息。

如果在一些通道中頻率和幾個被測量有線性函式關係，那么這些影響多參數頻率感測器的參數由專用算法計算。例如，對於雙參數頻率感測器，有如下的線性轉換特徵

Fx1=a1y+b1x

Fx2=a2y+b2x

式子中a1、a2、b1、b2為敏感因子；x、y為檢測參數。

確定檢測參數x、y採用以下算法