多功能離子注入與離子束濺射系統是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2009年6月23日啟用。
基本介紹
- 中文名：多功能離子注入與離子束濺射系統
- 產地：中國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2009年6月23日
- 所屬類別：物理性能測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
清洗源燈絲電源0～20 V20A 引出電源0～1.5KV50mA，濺射源燈絲電源0～20 V20A 引出電源0～3KV100mA，氣體源燈絲電源0～20 V20A 加速電源0～60KV30mA， 金屬源加速電源0～50KV30mA。
主要功能
設備主要功能：1.離子束清洗：對待處理工件或樣品進行表面清洗。2.離子束濺射沉積：用低能濺射氣體離子源實現濺射沉積薄膜。3.金屬、氣體離子注入，混合注入、單注入、反衝注入。4.離子束輔助/增強沉積：用中高能氣體/金屬離子束對濺射沉積薄膜實現離子束增強沉積。
