多功能複合表面改性系統

多功能複合表面改性系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2017年12月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能複合表面改性系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年12月20日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器

技術指標

極限真空1.5×10-4Pa；磁過濾脈衝金屬真空弧電漿源脈衝寬度200s～3ms、頻率0～50Hz、弧壓0～100V；射頻磁控電源總功率500W；射頻電漿電源總功率1000W；負高壓脈衝電源1：脈衝負高壓10～50kV、脈衝重複頻率10～500Hz、脈衝寬度10～500s；偏壓電源脈衝頻率20~40kHz、占空比10~80%、直流電壓20～200V。

主要功能

可進行金屬、非金屬、氣體複合膜層製備及摻雜，用以達到單一形式膜層無法企及的性能，解決單一形式膜層性能固定帶來的的缺陷。