外延薄膜X射線衍射儀

外延薄膜X射線衍射儀是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2015年12月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：外延薄膜X射線衍射儀
• 產地：荷蘭
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2015年12月28日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線衍射儀

技術指標

基本組元： 1) 3KW 高頻X射線發生器； 2) X光管Cu； 3）θ-θ廣角測角儀； 4) 狹縫系統； 5) 帶釋婆驗船放單元的防護罩； 6) 標準軟體，鋁樣品架，玻璃樣品架等。超高速新型探測系統；多用途測量系統及薄膜分析軟體；數據處理軟體，帶ICDD PDF-2資料庫。

主要功能

外延薄膜X射線頁墓祝衍射儀能夠精確地對單晶或多晶樣品進行物相定采犁性定量贈厚設分析；薄膜材料的物相、厚度、密度、粗糙度分析；結晶度分析、晶胞參數計算和固溶體分析；微欠閥踏她觀應力及晶粒大小店灶腳歸分析，微區分析、巨觀應力分析、頁乘府織構ODF分析及高低溫原位分析；也可以用於變溫條件下物相結構的變化分析；也可以用於外延膜的表征。