壓阻式壓力感測器工作原理是用ISO技術將半導體材料的敏感晶片封裝在不鏽鋼波紋膜片的殼體中，在不鏽鋼波紋膜片和晶片之間充有矽油。
基本介紹
- 中文名：壓阻式壓力感測器工作原理
- 外文名：The work principle of pressure transducer
- 敏感元件：壓阻效應的半導體材料
- 接入：惠斯通電橋
壓阻式壓力感測器工作原理
用ISO技術將半導體材料的敏感晶片封裝在不鏽鋼波紋膜片的殼體中，在不鏽鋼波紋膜片和晶片之間充有矽油。晶片引線穿過殼體引出並採用密封措施，防止矽油向外泄露或外面的壓力介質滲入其中，這樣晶片、矽油、殼體和引線組成壓力感測器。當感測器處在壓力介質中時，介質壓力作用於波紋膜片上使使其中的矽油受壓，矽油將膜片的壓力傳遞給半導體晶片。晶片受壓後使其電阻值發生變化，電阻信號通過引線引出。不鏽鋼波紋膜片殼體受到壓力並保護晶片，因而壓阻式壓力感測器能在有腐蝕性介質中感應壓力信號。
壓阻式壓力感測器一般通過引線接入惠斯通電橋中。平時敏感晶片沒有外加壓力作用，電橋處於平衡狀態（稱為零位）當感測器受壓後晶片電阻發生變化，電橋失去平衡。若給電橋加一個恆定電流或者電壓電源，電橋將輸出與壓力對應的電信號，這樣感測器的電阻變化通過電橋轉換為壓力信號輸出。
