NW101系列產品是由無錫市納微電子有限公司提供的擴散矽壓阻式壓力感測器。
基本介紹
- 中文名：NW101系列壓力感測器晶片
- 晶片尺寸：1.0 x 1.0 mm
- 工作溫度：-40℃~125℃
- 量 程：700KPa、1600KP
- 套用領域：消費電子套用 絕壓感測器系統
產品特點,套用領域,產品簡介,腳位定義,性能參數,
產品特點
晶片尺寸：1.0 x 1.0 mm
工作溫度：-40℃~125℃
量 程：700KPa、1600KP
套用領域
胎壓監測系統 消費電子套用 絕壓感測器系統
產品簡介
本系列產品具有與被檢測壓力成良好線性關係的毫伏級輸出信號及重複性與穩定性，適用於陶瓷、PCB、TO管等多種封裝形式。NW101系列產品採用矽-矽鍵合技術，減小晶片尺寸（僅1.0 x 1.0 mm）。
腳位定義
壓力感測器腳位定義與點苦原理
壓力感測器晶片電路原理腳位編號 | 腳位定義 |
1 | Vs+（Sub）: 供電電壓輸入端（襯底） |
2 | Vout+: 輸出信號正極 |
3 | Gnd1: 接地端 |
4 | Gnd2: 接地端 |
5 | Vout-: 輸出信號負極 |
※註：NW101為擴散矽壓阻式壓力感測器，矽襯底（Sub）與高電位Vs+相連，因此使用過程中必須保證供電電壓輸入端（Vs+）電位高於接地端（Gnd1與Gnd2）電位。
性能參數
參 數 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 | |
工作電壓 | -- | 5 | 10 | V(DC) | |
工作壓力範圍 | 700、1600 | KPa | |||
晶片尺寸 | 1.0 x 1.0 | mm | |||
電橋電阻 | 4.5 | 5 | 5.5 | KΩ | |
零點輸出 | -20 | 0 | +20 | mV | |
滿量程輸出 | 700KPa | 60 | 80 | 100 | mV |
1600KPa | 60 | 80 | 100 | mV | |
非線性 | ±0.2 | ±0.5 | %FS | ||
電阻溫度係數 | +1900 | +2200 | +2500 | ppm/℃ | |
靈敏度溫度係數 | -2500 | -2200 | -1800 | ppm/℃ | |
零點輸出溫度係數 | -60 | -- | 60 | μV/℃ | |
壓力遲滯 | -- | -- | ±0.2 | %FS | |
重複性 | -- | -- | ±0.2 | %FS | |
溫度遲滯 | -- | -- | ±0.2 | %FS | |
過載壓力 | -- | -- | 3X | -- | |
破壞壓力 | -- | -- | 5X | -- | |
工作溫度 | -40 | -- | 125 | ℃ | |
存儲溫度 | -40 | -- | 150 | ℃ | |
※註：
如無特殊聲明，所有數據均在供電電壓Vs+=5VDC，室溫環境下測試完成；進行切片工序之前尺寸；最小二乘法擬合直線；0~50℃範圍內測試數據；壓力感測器晶片進行正行程（工作壓力最小值到最大值）及反行程（工作壓力最大值到最小值）壓力循環，工作壓力範圍內任意壓力下的輸出值在正行程時與反行程時的偏差；同5中的測試方法，進行3次正反行程壓力循環；零點輸出在感測器進行一次-40~+125℃溫度循環前後的偏差值。
