《基於STM光刻技術的硬質塗層納米壓印模板的加工研究》是依託西安交通大學，由王海容擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：基於STM光刻技術的硬質塗層納米壓印模板的加工研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：王海容
- 依託單位：西安交通大學
- 批准號：50405030
- 申請代碼：E0512
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：25（萬元）
中文摘要
納米壓印技術作為一種新興的IC加工技術，具有工藝簡單，價格低廉，重複性好等優點。隨著該技術進一步發展，對納米壓印模板的線寬和使用壽命提出了更高的要求。本研究採用STM納米光刻技術及後續的刻蝕、剝離等工藝加工硬質塗層納米壓印模板。主要工作包括：積累STM納米光刻相關參數如探針材料、壓頭尖端形狀、電壓、電流等對特定膠層光刻結果影響的實驗曲線；研究如何把膠層納米圖案通過合適的微細加工技術變成硬質塗層上的納米結構；確定適合納米模板加工的硬質塗層的製備工藝過程、力學性能等參數。通過這些工作實現線寬更小、硬度更高、耐磨性能更好的硬質塗層壓印模板。這些研究將推動納米壓印技術進一步發展，為納米壓印技術走向實用打下基礎。
