《基於MEMS的光學讀出紅外成像研究》是依託中國科學技術大學，由張青川擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於MEMS的光學讀出紅外成像研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：張青川
- 依託單位：中國科學技術大學
- 批准號：10472111
- 申請代碼：A0812
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：32（萬元）
中文摘要
在MEMS製作工藝基礎上發展起來的雙材料微懸臂樑陣列(FPA)紅外成像新概念，是用光學的方法讀取微梁受熱變形時呈現在FPA上的熱圖像。完全不同於已有的熱像儀原理，它的非致冷、無讀出電路、和熱變形效率高等特點大大降低了其製作成本和難度，而其噪聲等效溫度差可與致冷型熱像儀相比。通過預研，我們提出了新的陣列轉角光學讀出方法，設計製作了無需真空室的FPA，組成紅外成像系統，觀察到了130℃以上運動物體的熱像。本項目是在已有的預研工作基礎上，進一步從機理分析與實驗研究相結合入手，探討：①改進讀出光路和處理方法；②提高微梁溫升與變形效率；③在微樑上加入抗基底溫漂的機械結構；④提高恆溫環性能(＜0.005K)；⑤儲備儀器小型化的技術。為實現室溫物體的熱像觀察和探索該原理的極限性能，奠定原理和技術上的支撐。
