《T型觸點射頻MEMS開關的製備及其形變的光學干涉法研究》是依託福州大學，由於映擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：T型觸點射頻MEMS開關的製備及其形變的光學干涉法研究
- 依託單位：福州大學
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：於映
- 批准號：60301006
- 申請代碼：F0119
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2004-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：5（萬元）
項目摘要
射頻MEMS開關具有低插入損耗、高電隔離、寬頻帶、體積小、重量輕等特點，在通信領域中具有很好的套用前景。本項目擬製作歐姆接觸式射頻MEMS開關，設計T型觸點替代平面型觸點，有效地減小觸點部分的形變，從而減小開關閉合時的接觸電阻;採用光干涉法對開關在閉合、斷開兩種狀態下懸樑的形變進行測量，研究材料在細微尺度下的機械性能，分析薄膜材料殘餘應力產生的應變及其對材料機械性能的影響；研究不同的製作方
