《基於微偏振片陣列的動態點衍射干涉檢測技術》是依託中國科學院上海光學精密機械研究所，由張志剛擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：基於微偏振片陣列的動態點衍射干涉檢測技術
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：張志剛
- 依託單位：中國科學院上海光學精密機械研究所
- 批准號：11602280
- 申請代碼：A0812
- 負責人職稱：助理研究員
- 研究期限：2017-01-01 至 2019-12-31
- 支持經費：22（萬元）
項目摘要
點衍射干涉儀採用點衍射原理獲得理想球面波，並將其作為參考波前，能夠達到衍射極限性能的解析度，克服了傳統Twyman-Green型和Fizeau型球面干涉儀檢測精度受限於參考標準鏡面形精度的問題，廣泛套用於光刻機投影物鏡、大型天文望遠鏡、航空航天和國防軍工等高科技前沿領域的球面鏡檢測。然而，受傳統相移測量方法限制，已有的點衍射干涉儀不能實現動態檢測，對隔振和環境控制要求很高。本項目擬結合點衍射干涉技術和國際研究較熱的微偏振片陣列技術，開展動態點衍射干涉系統設計與搭建、配套軟體開發、誤差分析和比對實驗等工作，以驗證採用微偏振片陣列實現動態點衍射干涉檢測方案的可行性，降低系統隔振要求，並實現干涉條紋對比度可調，解決傳統測量方法不能實現動態檢測的關鍵科學問題。本項目可填補國內外在該方面研究的空白，為進一步開發相關產業化樣機提供技術支持。
