《圓形石英玻璃光掩模基板規範(GB/T 16523-1996)》等效採用SEMI標準的SEMI P4—92。本標準第3章要求全部按SEMI P4—92制定，標準格式按GB/T 1.1—1993編制。本標準附錄A是提示的附錄。本標準由中華人民共和國電子工業部提出。本標準由電子工業部標準化研究所歸口。本標準起草單位：長沙韶光微電子總公司，電子工業部標準化研究所。
基本介紹
- 書名：圓形石英玻璃光掩模基板規範
- 作者：國家技術監督局
- 出版社：中國標準出版社
- 出版時間：1997年6月1日
- 頁數：7 頁
- 開本：16 開
- ISBN：155066113734
- 外文名：Specification for Round Quartz Photomask Substrates
- 語種：簡體中文
《圓形石英玻璃光掩模基板規範(GB/T 16523-1996)》由中國標準出版社出版。
