《光掩模石英玻璃基板》是2018年8月1日實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名：光掩模石英玻璃基板
- 外文名：Silica glass substrates for photomask
- 標準類別：產品
- 標準號：GB/T 34178-2017
編制進程,起草工作,
編制進程
2017年9月7日，《光掩模石英玻璃基板》發布。
2018年8月1日，《光掩模石英玻璃基板》實施。
起草工作
主要起草單位：中國建材檢驗認證集團股份有限公司、中建材衢州金格蘭石英有限公司、長沙韶光鉻版有限公司、中國建築材料科學研究總院、國家安全玻璃及石英玻璃質量監督檢驗中心。
主要起草人：吳潔、王京俠、王友軍、李弋舟、花寧、劉煥敏、肖頌華、聶蘭艦、張浩運、楊曉會、楊學東、孔敏、張應語。
