四氟化鈦

四氟化鈦，化學式TiF₄，是一種極易吸水的白色粉末。分子量123.87。

（概述圖截自：）

基本介紹

• 中文名：四氟化鈦 
• 外文名：Titanium tetrafluoride 
• 別名：Titanic fluoride、tetrafluoride、titanium(4+) tetrafluoride、Titanium(IV) Fluoride
• 分子量：123.87
• CAS登錄號：7783-63-3
• EINECS登錄號：232-017-6
• 熔點：377 ℃
• 水溶性：溶於冷水中分解
• 密度：2.7982 g/cm

理化性質

溶於冷水中分解，溶於H₂SO₄、乙醇和吡啶中，不溶於乙醚，與乾燥的氣體如O₂、N₂、CO、CO₂、HCl、SO₃、CS₂等都不反應

製備方法

以鈦粉直接氟化或將四氯化鈦與無水氟化氫作用均可製得純度99%以上的產品。

套用領域

在微電子工業中用作化學氣相沉積矽化鈦，以製取低電阻、高熔點的互連線。

計算化學數據

四氟化鈦的計算化學數據一覽表

分子質量	123.86 g/mol
氫鍵供體數	0
氫鍵受體數	4
可旋轉鍵數	0
準確的質量	123.941554 g/mol
單一同位素的質量	123.941554 g/mol
拓撲極地表面面積	0 A
重原子數	5
形式電荷	0
複雜性	19.1
同位素原子數	0
定義的原子立體中心計數	0
未定義的原子立體中心計數	0
定義的鍵立體中心計數	0
未定義的鍵立體中心計數	0
共價結合的單位數	1
化合物是否規範化	是

分子結構

與其他鈦鹵化物相比，它採用了八面體配位的鈦聚合物結構。

質量指標

氟化鈦的質量指標

外觀	白色吸濕性粉末
純度	特級
含量	≥98.5%
氯化物	≤0.15%
氟矽酸鹽	0.2%
鐵	0.1%
硫酸鹽	0.1%
重金屬	0.1%