四氟化鈦，化學式TiF4，白色粉末，極易吸水。與其他鈦鹵化物相比，它採用了八面體配位的鈦聚合物結構。溶於冷水中分解，溶於H2SO4、乙醇和吡啶中，不溶於乙醚。
基本介紹
- 中文名：四氟化鈦
- CAS No.： 7783-63-3
- 熔點： 377℃
- 密度： 2.798 g/cm
基本信息,製備或來源,用途,質量指標,
基本信息
中文名稱：四氟化鈦
英文名稱：Titanic fluoride，tetrafluoride， titanium(4+) tetrafluoride，Titanium(IV) Fluoride
分子式： TiF4
分子量： 123.87
熔點：高於400℃分解，284℃下升華
相對密度：2.7982
CAS號：7783-63-3
EINECS號：232-017-6
溶解性：溶於冷水中分解，溶於H2SO4、乙醇和吡啶中，不溶於乙醚
其他：與乾燥的氣體如O2、N2、CO、CO2、HCl、SO3、CS2等都不反應
製備或來源
以鈦粉直接氟化或將四氯化鈦與無水氟化氫作用均可製得純度99%以上的產品。
用途
在微電子工業中用作化學氣相沉積矽化鈦，以製取低電阻、高熔點的互連線。
質量指標
外觀（Appearance）： 白色吸濕性粉末
純度： 特級；
含量：≥98.5%；
氯化物：≤0.15%；
氟矽酸鹽：0.2%；
鐵：0.1%；
硫酸鹽：0.1%；
重金屬：0.1%
