單晶矽純水機

是地球上儲藏最豐富的材料之一,單晶矽也稱矽單晶,是電子信息材料中最基礎性材料,屬半導體材料類。單晶矽主要用於半導體積體電路、二極體、外延片襯底、太陽能電池。利用單晶矽的性質製造生產工藝用超純水設備——單晶矽純水機。

基本介紹

  • 中文名:單晶矽純水機
  • 簡介:矽是地球上儲藏最豐富的材料之一
  • 工藝流程:預處理系統-反滲透系統
  • 水質標準:國家電子級純水標準
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工藝流程

● 預處理系統-反滲透系統-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)
● 預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
● 預處理-一級反滲透-二級反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM) (新工藝)
● 預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥5MΩ.CM)(新工藝)
● 預處理系統-反滲透系統-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統工藝)
● 預處理系統-反滲透系統-粗混合床-精密過濾器-用水對象 (≥5MΩ.CM)(傳統工藝)

水質標準

國家電子級純水標準

設備要求

為達到符合標準的水質,儘可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上,取達到國家自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床系統(EDI電除鹽系統)等。 系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、線上水質檢測控制儀表、電氣採用PLC可程式控制器,具有更高的性價比和設備可靠性。

處理系統

①混床離子交換純化柱
EDI裝置
③除熱原超濾膜
④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器
⑤終端過濾器

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