吸除

使晶片中有害雜質固定在遠離器件有源區,以獲得表面潔淨區的工藝。

中文名稱吸除
英文名稱gettering
定  義使晶片中有害雜質固定在遠離器件有源區,以獲得表面潔淨區的工藝。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)

基本介紹

  • 中文名:吸除
  • 外文名:gettering

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