台式電子顯微鏡能譜儀

台式電子顯微鏡能譜儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2017年6月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：台式電子顯微鏡能譜儀
• 產地：荷蘭
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年6月28日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

光學放大 20-100倍；電子放大120,000倍；解析度： 優於18 nm； 5kV-15kV連續可調。

主要功能

用於對各種樣品進行高分辨形貌觀察及表面元素成分點、線、面分析。測試樣品亞微米 、納米尺寸的高分辨圖像。