準分子是一種在激發態複合成分子、在基態離解成原子的不穩定碲合物。由其能級示意圖可以看出，對應於核間距為R0的基態分子是極不穩定的，會很快分解成獨立的原子。因此，在R0附近，激發態與基態之間很容易建立起粒子數反轉而產生雷射振盪。準分子雷射器已實現了紫外波長可調諧輸出。
