去膠機

去膠機是一種用於物理學、電子與通信技術領域的計量儀器，於2017年6月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：去膠機
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2017年6月29日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器

技術指標

去除光刻膠類型：SU8等；最大速率1um/min；工藝壓強1~100Pa；頻率2.45GHz；功率1.2kW；溫控範圍20~80攝氏度。

主要功能

去膠機利用微波等離子將氧氣或者其他反應氣體進行電離，形成化學活性的自由基，然後與光刻膠反應，生成可揮發的物質，被真空泵抽離腔體，從而實現光刻膠刻蝕和去除的功能。