北京大學微電子工藝實驗室

北京大學微電子工藝實驗室有各種儀器設備150多台套，價值超過一億元；合理完整的綜合配套和穩定重複的交叉污染控制能力，使實驗室成為國際上為數不多、可同時開展MOS、矽基MEMS和集成化工藝技術研究的實驗環境，領先國內外高校。

基本介紹

• 中文名：北京大學微電子工藝實驗室
• 主管部門：北京大學

研究方向

微電子工藝技術研究

發展歷史

北京大學微電子工藝實驗室直屬北京大學微電子學研究院，也是微米/納米加工技術國家級重點實驗室的工藝實驗主體，是世界先進的大學微電子工藝平台。實驗室的前身是北京大學半導體物理實驗室，始建於1956年。經過1970年的北大電子儀器廠和1986年的老微電子樓兩個重要發展期，經歷了數次改造、擴建、重建和搬遷；第四代超淨間現位於北大微納電子大廈首層及地下一層，面積從第一代的幾十平方米增加到國內高校最大的1500平方米。

人才培養

北京大學微電子工藝實驗室由教授1、教授級高工2、高工5、工程師3、實驗員、各種服務人員組成；學歷覆蓋博士到高職。職稱和學歷分布合理，責任分工明確，各司其職，保證工藝平台的世界先進技術服務能力。