劉驊鋒

劉驊鋒，博導，物理學院/積體電路學院雙聘教授，引力中心主任助理，國家優秀青年科學基金獲得者。一直從事面向地球科學和空間套用的高精度MEMS慣性感測器及重力測量儀器方面研究。兼任中國儀器儀表學會地質儀器分會理事，IEEE CASS-EDS-SSCS武漢聯合分會副主席，中國微米納米技術學會高級會員，中國慣性技術學會高級會員，擔任《Microsystems & Nanoengineering》和《中國慣性技術學報》等期刊編委。在Microsystems & Nanoengineering, IEEE TIE, JMEMS, APL, OL, Space Science Review等期刊以及 IEEE MEMS, Transducers, AGU等國際會議發表SCI/EI論文80餘篇，英文專著章節1章，授權專利20餘項，榮獲2020年國際微系統及納米工程（MINE2020）青年科學家獎。近五年主持國家自然科學基金優青項目、面上項目、國家重點研發計畫“智慧型感測器”專項課題、國家科技重大專項課題等十餘項。曾負責研製的MEMS星載微震儀實現新一代載人航天飛船試驗船在軌微重力環境測量，目前擔任嫦娥七號科學載荷月震儀型號副主任設計師負責MEMS月震計研製。講授國家級精品課程，指導多名學生獲得國家獎學金，指導學生獲得“第六屆中國研究生創芯大賽”一等獎及創“芯”之星，並獲“優秀指導教師獎”。

基本介紹

• 中文名：劉驊鋒
• 國籍：中國
• 畢業院校：英國帝國理工學院
• 學位/學歷：博士
• 職業：教師
• 專業方向：微機電系統（MEMS）；微納加工；慣性感測器；MEMS加速度計等
• 職務：研究員、博士生導師、碩士生導師
• 職稱：研究員

個人經歷

教育經歷

2010.10 - 2011.09 英國南安普頓大學 - 微機電系統（MEMS）- 工學碩士學位 - 研究生(碩士)畢業 - 電子與計算機科學學院

2012.04 - 2016.03 英國帝國理工學院 - 微機電系統（MEMS）- 工學博士學位 - 研究生(博士)畢業-電子與電氣工程系

工作經歷

2017.5-2023.03 華中科技大學 - 物理學院 - 副研究員 - 在職

2023.03-至今 華中科技大學 - 引力中心 - 主任助理 - 研究員 - 在職

社會兼職

2022.01 - 至今 IEEE CASS-EDS-SSCS武漢聯合分會副主席

2021.07 - 至今 中國儀器儀表學會地質儀器分會理事

2017.09 - 至今 教育部學位中心精密儀器學科 MEMS 方向學位論文通訊評議專家

2022.01 - 2023.03《Microsystems & Nanoengineering》期刊編委

2022.10 - 至今《中國慣性技術學報》青年編委

研究方向

• 微機電系統（MEMS）；微納加工；慣性感測器；MEMS加速度計；MEMS微震儀；MEMS重力儀

主講課程

[1] 微弱信號檢測

[2] 大學物理（下）

學術成果

論文成果

[1]. Ziqiang Qu, Hao Ouyang, Wen Xiong, Qiangwei Xu, Yuan Wang*, and Huafeng Liu*, A Nano-g MOEMS Accelerometer Featuring Electromagnetic Force Balance with 157-dB Dynamic Range, IEEE Transactions on Industrial Electronics (2023) 7:26

[2]. Chen Wang, Yuan Wang, Weidong Fang, Xiaoxiao Song, Aojie Quan, Michiel Gidts, Hemin Zhang, Huafeng Liu*, Jian Bai*, Sina Sadeghpour, and Michael Kraft, Design of a Large-range Rotary Microgripper with Freeform Geometries using a Genetic Algorithm, Microsystems & Nanoengineering (2022) 8:3 (封面文章)

[3]. Ziqiang Qu, Hao Ouyang, Huafeng Liu*, Chenyuan Hu*, Liang-Cheng Tu, and Zebing Zhou, 2.4 ng/√Hz low-noise fiber-optic MEMS seismic accelerometer, Optics Letters (2022) 47:3

[4]. Yuan Wang, Xiaoxiao Song, Jingqian Xi, Fangzheng Li, Lei Xu, Huafeng Liu*, Chen Wang*, Shuangyang Kuang*, Liang-Cheng Tu, Michael Kraft, and Chun Zhao. A Resonant Lorentz-Force Magnetometer Exploiting Blue Sideband Actuation to Enhance Sensitivity and Resolution, Journal of Microelectromechanical Systems, (2022) 31:3162015

[5]. Yuan Wang, Xiaoxiao Song, Fangzheng Li, Lu Gao, Chengxin Li, Jingqian Xi, Huafeng Liu*, Chun Zhao*, Chen Wang*, Liang-Cheng Tu, and Michael Kraft. A Resonant Lorentz-Force Magnetometer Featuring Slotted Double-Ended Tuning Fork Capable of Operating in a Bias Magnetic Field, Journal of Microelectromechanical Systems, (2021) 30:3113769

[6]. Qiu Wang, Zongfeng Li, Huafeng Liu*, Qiangwei Xu, Shitao Yan*, Leiming Zhang, Shaolin Zhang, Xiaoxiao Song, Ziqiang Qu, Li Liu, Jinquan Liu, and Liang-Cheng Tu*, MEMS Microgravity Measurement Module with Nano-g/√Hz Noise Floor for Spaceborne Higher-Level Microgravity Scientific Experiment Applications, ACS Applied Electronic Materials, 3 (2021): 3379-3390.

[7]. Chen Wang, Xiaoxiao Song, Dongwei Fang, Fang Chen, Ioannis Zeimpekis, Yuan Wang, Aojie Quan, Jian Bai*, Huafeng Liu*, and Michael Kraft, Design of freeform geometries in a MEMS accelerometer with a mechanical motion pre-amplifier based on a genetic algorithm, Microsystems & Nanoengineering (2020) 6: 104

[8]. Qiu Wang, Xiaofang Ren, Shimin Jiao, Xiangzhou Lei, Shaolin Zhang, Huafeng Liu*, Pengshun Luo* and Liangcheng Tu, A diamagnetic levitation based inertial sensor for geophysical application,Sensors and Actuators A: Physical. (2020) 312: 112122

[9].Huafeng Liu*, W.T. Pike*, C. Charalambous, A.E. Stott, Passive Method for Reducing Temperature Sensitivity of a Microelectromechanical Seismic Accelerometer for Marsquake Monitoring Below 1 Nano-g, Physical Review Applied, (2019) 10: 1

[10]. Huafeng Liu* and W. T. Pike*, A micromachined angular-acceleration sensor for geophysical applications, Applied Physics Letters, (2016) 17: 109

專利

• 發明名稱：一種微機械萬向開關的製造方法 發明人：劉驊鋒，塗良成，嚴世濤，饒康，伍文杰 申請號：201810871365.X 申請日： 2018-08-02.
• 發明名稱：一種微機械萬向開關 發明人：劉驊鋒，塗良成，胡宸源，王秋，渠自強 申請號：201810870754.0 申請日： 2018-08-02.
• 發明名稱：一種三維微凸點的製備方法 發明人：范繼，魏曉莉，劉金全，塗良成，劉驊鋒，饒康 申請號：201810678848.8 申請日： 2018-06-27.
• 發明名稱：一種基於機械超材料的加速度敏感機構及複合靈敏度微機械加速度計 發明人：劉驊鋒，塗良成，王秋，胡方靖 申請號：201810720730.7 申請日： 2018-06-29.
• 發明名稱：一種三分量海洋重力測量裝置（實用新型） 發明人：余剛，塗良成，劉驊鋒 申請號：201810309292.5 申請日： 2018-04-09，授權公告日：2019-02-12 授權公告號：CN 208488557U.
• 發明名稱：一種三分量海洋重力磁力複合測量裝置（實用新型） 發明人：余剛，塗良成，劉驊鋒 申請號：201820497304.7 申請日： 2018-04-09，授權公告日：2018-12-07 授權公告號：CN 208207239U.
• 發明名稱：一種三分量海洋重力測量裝置 發明人：余剛，塗良成，劉驊鋒 申請號：201810309292.5 申請日： 2018-04-09.
• 發明名稱：一種三分量海洋重力磁力複合測量裝置 發明人：余剛，塗良成，劉驊鋒 申請號：201810309278.5 申請日： 2018-04-09.
• 發明名稱：一種太赫茲頻段可重構數字電磁超材料及其製備方法 發明人：胡方靖，塗良成，宋培義，劉驊鋒 申請號：201810110239.2 申請日： 2018-02-02.
• 發明名稱：一種三分量重力儀探頭及井中重力儀系統（實用新型） 發明人：劉驊鋒，塗良成，王秋，胡宸源，范繼 申請號：ZL201721699764.X 申請日： 2017-12-08，授權公告日：2018-06-12 授權公告號：CN 207488514U.

科研項目

主持的國家級科研項目：

[1] 國家自然科學基金優青項目，“高精度加速度感測”，2024.1-2026.12；

[2] 國家自然科學基金面上項目，“基於多物理量信息融合的MEMS相對重力儀誤差機理及補償方法研究”，2024.1-2026.12；

[3] 國家科技重大專項課題，“嫦娥七號MEMS月震計”，2021.4-2025.12；

[4] 國家重點研發計畫課題，“三軸加速度感測器高密度集成與高精度測控”，2021.12-2024.11；

[5] 縱向重點項目，“量子XXX微加速度感測器技術”，2023.6-2026.5；

[6] 縱向重點項目，“XXX高精度加速度計XXX”，2018.9-2020.12；