劉進偉，博士，現為四川大學機械工程學院助理研究員，博士後。
基本介紹
- 中文名：劉進偉
- 學位/學歷：博士
- 職業：教師
人物經歷,研究方向,研究領域,科研項目,授權專利,
人物經歷
教育背景：
2012.09-2016.06 西南交通大學 機械設計製造及其自動化 學士
2016.09-2021.12 西南交通大學 機械設計及理論 博士
工作經歷：
2022.03- 四川大學 助理研究員 博士後
研究方向
主要研究方向：納米摩擦學、超精密表面製造（理論、工藝及裝備）基礎研究，面向超大規模積體電路、功率半導體器件、人工關節等的關鍵部件，採用電漿、電場、化學、機械等多源能量複合加工技術進行先進超精密表面製造。
研究領域
超精密表面製造技術
1. 化學機械拋光（積體電路關鍵製造技術）
2. 電化學-電漿輔助拋光（面向第三代半導體等難加工材料製造）
科研項目
1. 過程裝備與控制工程四川省高校重點實驗室項目，面向鈦合金人工關節的電漿輔助拋光機理研究，2022.07-2024.06，主持
2. 國家自然科學基金重大項目課題，納米精度表面製造的材料去除機理， 2020.01-2024.12，參與
3. 國家重點研發計畫課題，高表面質量套圈滾道超精密加工技術與裝備， 2019.07-2022.06，參與
4. 國家自然科學基金青年科學基金項目，面向超光滑、低損傷軸承鋼表面的化學機械拋光機理研究，2017.01-2019.12，參與
授權專利
1. 智慧型感溫太陽能汽車換氣降溫系統，ZL201510188054.X
2. 微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置及方法，ZL202010118552.8
