劉進偉(四川大學機械工程學院助理研究員)

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劉進偉,博士,現為四川大學機械工程學院助理研究員,博士後。

基本介紹

  • 中文名:劉進偉
  • 學位/學歷:博士
  • 職業:教師
人物經歷,研究方向,研究領域,科研項目,授權專利,

人物經歷

教育背景:
2012.09-2016.06 西南交通大學 機械設計製造及其自動化 學士
2016.09-2021.12 西南交通大學 機械設計及理論 博士
工作經歷:
2022.03- 四川大學 助理研究員 博士後

研究方向

主要研究方向:納米摩擦學、超精密表面製造(理論、工藝及裝備)基礎研究,面向超大規模積體電路、功率半導體器件、人工關節等的關鍵部件,採用電漿、電場、化學、機械等多源能量複合加工技術進行先進超精密表面製造。

研究領域

超精密表面製造技術
1. 化學機械拋光(積體電路關鍵製造技術)
2. 電化學-電漿輔助拋光(面向第三代半導體等難加工材料製造)

科研項目

1. 過程裝備與控制工程四川省高校重點實驗室項目,面向鈦合金人工關節的電漿輔助拋光機理研究,2022.07-2024.06,主持
2. 國家自然科學基金重大項目課題,納米精度表面製造的材料去除機理, 2020.01-2024.12,參與
3. 國家重點研發計畫課題,高表面質量套圈滾道超精密加工技術與裝備, 2019.07-2022.06,參與
4. 國家自然科學基金青年科學基金項目,面向超光滑、低損傷軸承鋼表面的化學機械拋光機理研究,2017.01-2019.12,參與

授權專利

1. 智慧型感溫太陽能汽車換氣降溫系統,ZL201510188054.X
2. 微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置及方法,ZL202010118552.8

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