劉玉嶺(河北工業大學微電子技術與材料研究所所長)

劉玉嶺,男,1942年2月出生,博士生導師,現為河北工業大學微電子技術與材料研究所所長。

1966年畢業於南開大學化學系,現任河北工業大學微電子技術與材料研究所所長,天津新技術產業園區晶嶺高科技有限公司總經理,第九屆全國政協委員,國家級有突出貢獻的中青年專家、博士生導師、學校學科帶頭人。主要研究方向為微電子技術與材料,主要包括:器件製備工藝、襯底表面狀態、矽外延生長機理與控制技術、應力分布與控制技術、表面完美性與高平坦技術(CMP)、表面潔淨技術、半導體器件計算機模擬等。曾獲國家發明獎五項,省部級獎十九項,國家發明專利四項。發表學術論文140多篇,有16篇被三大索引收錄,專著三部。
劉玉嶺劉玉嶺
在半導體分立器件、VLSI、電子基礎材料的製備、加工、檢測、矽外延生、性能與結構最佳化、器件與材料關係等工程科技領域承擔了多項重大攻關項目。發現了多項重要規律,對一系列急待解決的關鍵科技難題,取得了創造性的重大突破。獲國家發明獎五項、國內外發明展獎九項、省市科技獎十七項,在國內外發表科技論文六十多篇,成果均被有關科研與生產單位工業規模套用,效果顯著,已編計出的經濟效益達六千多萬元。創建了很有影響的微電子技術與材料研究所,在其帶領下形成了一個創造力極強的研究群體,在對創造規律進行深入系統研究後,編著出版了三十萬字的具有特色的高校教材《實用發明創造工程學》。

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