劉明，女，1964年4月出生於江西豐城，微電子科學與技術專家，中國科學院院士、開發中國家科學院院士，中國科學院微電子研究所研究員、博士生導師，微電子器件與集成技術重點實驗室主任，中國科學技術大學國家示範性微電子學院院長。
1981年劉明考入合肥工業大學，先後獲得學士、碩士學位；1998年獲得北京航空航天大學博士學位；2000年被聘為中國科學院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術研究室主任；2008年獲得國家傑出青年科學基金資助；2015年當選中國科學院院士；2018年出任中國科學技術大學國家示範性微電子學院院長，同年當選開發中國家科學院院士。
劉明長期從事半導體存儲器和積體電路的微納加工等方面的研究。
基本介紹
- 中文名：劉明
- 外文名：Liu Ming
- 國籍：中國
- 出生地：江西豐城
- 出生日期：1964年4月
- 職業：教學科研工作者
- 畢業院校：北京航空航天大學
- 主要成就：2015年當選中國科學院院士
2018年當選開發中國家科學院院士 - 籍貫：安徽宿州
- 學位：博士
- 性別：女
人物經歷,主要成就,科研成就,人才培養,榮譽表彰,社會任職,人物評價,
人物經歷
1964年4月，劉明出生於江西豐城市，籍貫安徽宿州。
1985年，劉明從合肥工業大學本科畢業，獲得學士學位。
1988年，劉明從合肥工業大學碩士研究生畢業，獲得碩士學位。
1998年，劉明從北京航空航天大學博士研究生畢業，獲得博士學位。
2000年，劉明被聘為中國科學院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術研究室主任。
2008年，劉明獲得國家傑出青年科學基金資助。
2015年7月31日，劉明入選中國科學院院士增選初步候選人名單，12月7日當選中國科學院院士。
2018年1月25日，劉明出任中國科學技術大學國家示範性微電子學院院長，同年當選開發中國家科學院院士。
主要成就
科研成就
- 科研綜述
劉明闡明了阻變存儲器機理，建立了相應的物理模型；提出了功能層摻雜和局域電場增強的阻變存儲器性能調控方法，提高存儲器整體性能；拓展了新型快閃記憶體材料和結構體系，提出新的可靠性表征技術、失效模型和物理機理；發展了積體電路的微納加工技術並拓展到禁運的短波衍射元件研製中。
劉明在國際上首次採用軟X射線曝光技術實現了256位分子存儲器；在32nm技術節點以下的非揮發性存儲器替代方案上，提出了利用金屬摻雜的技術手段來提高阻變存儲器（RRAM）性能和成品率的方法，成為國際上最早提出此概念的兩個小組之一，在漸進型的非揮發性存儲器替代方案上，著眼於納米晶浮柵存儲結構（Nano-Floating Gate）。
- 學術論著
截至2017年7月，劉明發表SCI收錄論文250多篇，SCI他引超過2800次，6篇論文入選ESI高被引論文榜，兩項工作列入2013年ITRS（國際半導體發展路線圖）、多項工作作為典型進展被寫入15本著作和40篇綜述中。授權發明專利180件（含美國授權專利7件），主要專利轉讓/許可到多家重要積體電路企業。
| 出版日期 | 名稱 | 作者 | 出版社 |
|---|---|---|---|
2013.12 | 《納米半導體器件與技術》 | （加）KRZYSZTOF INIEWSKI編；劉明，呂杭炳譯 | 北京：國防工業出版社 |
2014.08 | 《新型阻變存儲技術》 | 劉明著 | 北京：科學出版社 |
- 學術交流
截至2017年7月，劉明在本領域重要國際會議做邀請報告30多次。
| 時間 | 報告題目 |
|---|---|
2017-11-14 | Advanced Semiconductors - Opportunities for Mainland and Hong Kong Collaboration |
2017-09-22 | Resistive Random Access Memory and 3D Integration |
2017-08-20 | High Performance Selector and 3D Integration |
2017-04-03 | Reliability issues on oxide-electrolyte-based RRAM |
2016-10-10 | High performance selector and 3D integration (Invited) |
2016-06-07 | 3D Vertical Integration of Resistive Switching Memory (Invited) |
2016-04-06 | Characteristics and Mechanism of Multimode Resistive Switching Behaviors in the Oxide-electrolyte-based RRAM (Invited) |
2016-03-29 | Improvement of RRAM performances by inserting graphene layer |
2015-10-12 | Reliability Issues of Oxide Electrolyte Based CBRAM |
2015-10-11 | Impact of filament evolution on reliability issues of oxide electrolyte based conductive bridge random access memory |
2015-09-03 | Characteristics and mechanism of multimode resistive switching behaviors in the oxide-electrolyte-based RRAM |
2015-06-28 | Reliability Issues of Oxide-Electrolyte-Based Conductive Bridge Random Access Memory |
2015-06-01 | A Probe of Reliability Issues of Oxide Electrolyte Based CBRAM |
2015-05-17 | Future of Memory: Application-driven or Technology-driven, which will dominate in the new era of computing |
2015-05-04 | Resistive Switching Characteristics and Mechanism of Oxide-Electrolyte-Based RRAM |
- 承擔項目
截至2015年12月，劉明先後主持參與了多項國家973、863項目。
| 項目時間 | 項目名稱 | 備註 |
|---|---|---|
2006-01--2011-12 | 分子電子學的基礎研究 | 主持，國家級 |
2008-01--2010-12 | 納米晶浮柵存儲器存儲材料及關鍵技術 | 主持，國家級 |
2009-01--2011-12 | 32nm新型存儲器關鍵工藝解決方案 | 主持，國家級 |
2009-01--2012-12 | 納米加工與新型半導體器件研究 | 主持，國家級 |
2010-01--2014-08 | 納米結構電荷俘獲材料及高密度多值存儲基礎研究 | 主持，國家級 |
2013-01--2015-12 | 新型微電子器件集成的基礎研究 | 主持，國家級 |
2014-01--2018-12 | 超高密度存儲器三維集成關鍵技術研究 | 主持，國家級 |
2014-07--2019-06 | 有機射頻電子標籤的設計與製備 | 主持，部委級 |
2015-01--2017-12 | 科技北京百名領軍人才 | 主持，省級 |
2016-01--2018-12 | 新型微電子器件集成的基礎研究 | 主持，國家級 |
2016-08--2021-07 | 三維阻變存儲器基礎研究 | 主持，部委級 |
2017-01--2018-12 | 阻變存儲器材料與器件研究 | 主持，省級 |
2017-07--2018-06 | 基於高品質異質結構的信息電子光電器件 | 主持，部委級 |
- 科研成果獎勵
截至2017年7月，劉明先後獲得國家技術發明二等獎3項、國家科技進步二等獎1項、中國電子學會科學技術獎自然科學類一等獎、北京市科學技術一等獎2項、北京市科學技術二等獎2項和中國科學院傑出成就獎等獎項。
| 獲獎時間 | 項目名稱 | 獎勵名稱 |
|---|---|---|
2002年 | 0.18um的積體電路工藝技術 | 北京市科學技術二等獎（排名第3） |
2003年 | 27nm CMOS器件 | 北京市科學技術一等獎（排名第10） |
2005年 | High Performance 70nm CMOS Devices | 中國科協期刊第一屆優秀論文獎 |
2005年 | 亞30納米CMOS器件相關的若干關鍵工藝技術研究 | 國家技術發明二等獎（排名第四） |
2006 | 中高頻聲表面波關鍵材料與器件研究 | 省級一等獎 |
2007年 | 中高頻聲表面波關鍵材料及技術研究 | 國家技術發明二等獎（排名第二） |
2009年 | 移動通訊用濾波器關鍵技術及產業化 | 國家科技進步二等獎（排名第四） |
2010年 | 微納結構‘自上而下’製備核心技術與集成套用 | 北京市科學技術一等獎（排名第1） |
2013年 | 高精度微納結構掩模製造核心技術 | 國家技術發明二等獎（排名第一） |
2014年 | 阻變存儲器及集成的基礎研究 | 北京市科學技術二等獎（排名第1） |
2014年 | 極大規模積體電路關鍵技術研究集體 | 中國科學院傑出成就獎（排名第8） |
2015年 | 阻變存儲器機理與性能調控 | 中國電子學會科學技術獎自然科學類一等獎（排名第一） |
2016年 | 氧化物阻變存儲器機理與性能調控 | 國家自然科學獎（排名第一） |
人才培養
- 教育思想
劉明提出：導師應首先做到讓學生尊重信賴的人，並建議年輕導師保持樂觀的生活和工作態度，學高為師，身正為范。
- 教學成果獎勵
| 時間 | 獎勵名稱 |
|---|---|
2011年度 | 中國科學院“優秀研究生指導教師” |
2011年度 | 中國科學院“朱李月華優秀教師” |
榮譽表彰
| 時間 | 榮譽/表彰 |
|---|---|
2012年 | 中國真空學會“中國真空科技成就獎（萊寶獎）” |
2015年12月7日 | 中國科學院院士（信息技術科學部） |
2017年3月8日 | 中國科學院第五屆“十大傑出婦女”榮譽稱號 |
2017年 | 何梁何利基金科學與技術進步獎（電子信息技術獎） |
2018年11月28日 | 開發中國家科學院院士 |
社會任職
| 時間 | 擔任職務 |
|---|---|
2017年11月— | IEEE, Fellow |
2016年01月— | 《the EDS Newsletter》Regional Editor |
2016年01月— | IEEE EDS Beijing Chapter 主席 |
2015年01月— | 國家重點研發計畫納米科技重點專項專家組成員 |
2014年01月— | 中國真空學會理事 |
2013年01月— | 《中國科學》編委 |
2011年01月— | IEEE Electron Devices Society, Distinguished Lecturer |
2011年01月— | 《Applied Physics A》編輯 |
2010年12月— | 無錫華潤微電子有限公司掩模工廠技術顧問 |
2008年06月— | 中國科學院科學出版社基金 |
2008年04-月— | “納米科學技術大系”編委會 |
2007年01月— | 中國科學院物理研究所納米物理與器件實驗室學術委員會 |
2006年09月— | 中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會，第一屆理事會名譽理事長 |
2002年11月— | 中國材料研究學會青年委員會 |
中國科學院半導體研究所半導體材料重點實驗室學術委員會委員 |
人物評價
劉明長期致力於微電子科學技術領域的研究，在存儲器模型機理、材料結構、核心共性技術和積體電路的微納加工等方面做出了系統、創造性貢獻。她建立了阻變存儲器（RRAM）物理模型，提出並實現高性能RRAM和集成的基礎理論和關鍵技術方法，產生重要國際影響。（中國科學技術大學國家示範性微電子學院評）
