劃片與裂片系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2010年12月01日啟用。
基本介紹
- 中文名:劃片與裂片系統
- 產地:中國
- 學科領域:材料科學
- 啟用日期:2010年12月01日
- 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
切厚端樂幾組欠勸割功率1W;頻率120KHZ;。
主要功能
切割矽片,整乘多拘藍寶石,遙喇刪石英察煉榜片等朵膠平坦化加工。充趨才
劃片與裂片系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2010年12月01日啟用。
劃片與裂片系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2010年12月01日啟用。技術指標切割功率1W;頻率120KHZ;。1主要功能切割矽片,藍寶石,石英片等平坦化加工。1...
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其特徵是:所述的步驟(h)中,在用寬刀片切割蓋子圓片後,用液態絕緣材料填充寬劃片槽,用來使蓋子圓片的矽和金屬層絕緣,當絕緣材料固化後,焊接好的微機電系統圓片通過劃片裂片。