分子真空泵

分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發明的，並闡述了分子泵的抽氣理論，使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，分子泵是在分子流區域內靠高速運動的剛體表面傳遞給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產生定向流動，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子，並使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象。因此，人們將蓋德發明的分子泵稱為牽引分子泵。

結構特點

泵腔內有可旋轉的轉子，轉子的四周帶有溝槽並用擋板隔開。每一個溝槽就相當於一個單級分子泵，後一級的入口與前一級的出口相連。轉子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適於抽除較重的氣體。但同於它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少套用。曾一度被結構和製造簡單，抽速大的擴散泵所代替。

就是在油擴散泵開始得到廣泛套用的時代，人們在牽引分子泵的結構改進方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先後對 Gaede 型分子泵做了許多改進，提出了很多不同結構的新型牽引分子泵。但由於其結構仍較複雜，抽速低，因此未能得到廣泛套用。

原理

分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。