《分子真空泵的理論與實踐》是科學出版社出版的圖書。
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出版信息
分子真空泵的理論與實踐
- 書號：9787030692047作者：巴德純等
- 外文書名：
- 裝幀：平裝開本：B5
- 頁數：295字數：393000語種：zh-Hans
- 出版社：科學出版社出版時間：2021-09-01
內容簡介
本書全面回顧了分子真空泵的發展歷史，系統闡述了分子真空泵抽氣理論與結構設計方法，介紹了新技術在分子真空泵設計中的套用。全書共9章，包括牽引分子泵、渦輪分子泵、複合分子泵的結構特點、設計理論，參數化設計、轉子系統動力學分析、多學科協同最佳化設計方法在分子真空泵結構設計、性能最佳化方面的套用，分子真空泵關鍵零部件製造與裝配、維護保養和維修等內容。
目錄
第1章 緒論 1
1.1 分子泵的發展回顧 2
1.1.1 牽引分子泵的發明與改進 2
1.1.2 渦輪分子泵的發明與發展 4
1.1.3 複合分子泵的出現與套用 9
1.1.4 分子泵在中國的發展 12
1.2 新技術在分子泵上的套用 14
1.2.1 磁懸浮分子泵 14
1.2.2 氣體靜壓軸承與陶瓷轉子分子泵 18
1.2.3 低溫型分子泵 20
1.2.4 抽除反應生成物分子泵 22
1.2.5 極高真空分子泵 22
1.2.6 現代牽引分子泵 23
1.3 分子泵的最新進展 26
參考文獻 27
第2章 牽引分子泵 29
2.1 牽引分子泵的結構與抽氣性能 29
2.2 多槽螺旋式牽引分子泵抽氣性能計算 35
2.2.1 物理模型 35
2.2.2 分子流態下多槽牽引通道抽氣性能計算 36
2.2.3 黏滯流態下多槽牽引通道抽氣性能計算 42
2.2.4 多槽螺旋式牽引分子泵抽氣性能算法改進 46
2.2.5 多槽螺旋式牽引分子泵幾何參數對抽氣性能的影響 48
2.3 盤式牽引泵抽氣性能計算 57
2.3.1 牽引盤結構與牽引槽型線 57
2.3.2 盤式牽引泵抽氣性能的簡化算法 59
2.3.3 牽引盤幾何參數對抽氣性能的影響 60
2.4 牽引分子泵過渡流態下抽氣性能的計算 62
2.4.1 稀薄氣體過渡流態的模擬方法 63
2.4.2 筒式牽引泵抽氣性能的DSMC 65
2.4.3 盤式牽引泵抽氣性能的DSMC 75
參考文獻 89
第3章 渦輪分子泵 92
3.1 渦輪分子泵的結構與抽氣性能 92
3.2 單級渦輪葉列抽氣性能的計算模型 94
3.2.1 渦輪葉列的抽氣機理 94
3.2.2 單級渦輪葉列的抽氣性能 96
3.2.3 單級渦輪葉列氣體分子傳輸機率計算方法 98
3.3 蒙特卡羅法對單級渦輪葉列抽氣性能的分析 103
3.3.1 蒙特卡羅法計算模型 103
3.3.2 渦輪葉列傳輸機率計算程式 109
3.3.3 計算結果及其分析 110
3.4 多級渦輪葉列組合抽氣性能的計算模型 130
3.5 渦輪分子泵抽氣性能的計算 132
3.6 渦輪分子泵抽氣性能計算方法改進及其軟體化 136
3.6.1 單級渦輪葉列正、反向傳輸機率與葉列參數關係的數學表達 136
3.6.2 單級渦輪葉列傳輸機率的積分均值法 138
3.6.3 渦輪分子泵抽氣性能計算結果與誤差評價 139
3.6.4 渦輪分子泵抽氣性能計算軟體 140
3.7 渦輪分子泵電動機功率的計算 142
