出現電勢譜

出現電勢譜

出現電勢譜,簡稱 APS,是表面分析用芯能級譜的一個大類。它用能量逐漸增長(50→1500電子伏)的電子轟擊固體表面,並測定次級粒子的產額

粒子束與表面作用後,將產生豐富的信息,如電子、光子和離子的發射,它們都可以作為表面分析的依據。電子束的能量可以由加速電壓精確控制,其聚焦方法簡單,固體材料對電子束的非彈性散射很大,而且其能有效地被各種儀器所檢測和計算,電子束分析設備比離子束簡單,所以電子束已經成為最常規方法之一。出現電勢譜就是電子束分析技術的一種重要方法。

基本介紹

  • 中文名:出現電勢譜
  • 外文名:appearence potential spectroscopy
  • 簡稱: APS
  • 類屬:表面分析用芯能級譜
  • 定義:能量逐漸增長的電子轟擊固體表面
  • 學科:電子工程
概述,理論,分析結構,使用設備,

概述

表面分析用芯能級譜的一個大類。簡稱 APS。它用能量逐漸增長(50→1500電子伏)的電子轟擊固體表面。並測定次級粒子的產額。當入射電子的能量E0超過某一閾值(相當於某一出現電勢)時,就有可能激發固體原子,使某一芯能級EB上的電子躍遷到費密能級E0以上空帶中的某一位置,而在該能級上留下空穴,如圖1所示;然後在退激發(電子重新落入空汽疊厚穴)時將產生俄歇電子或相當於芯能級束縛能(EB-E0)的標識X射線,如圖2所示。因此測定次級粒子流強度I與入射電子能量E0之間的關係就可以得到一種相當於測定芯能級束縛能的譜,可用作元素分析以判明固體表面的成分。由於不同元素的各個芯能級束縛能相差很大,所以APS的譜線清晰易船隻葛記讀,不會發生混淆;加以不需要能量分析器,儀器結構比較簡單,所以是一種很有用的表面分析方法。
圖1圖1

理論

上述方法還可以按所測粒子的種類分為“軟X射線出現電勢譜(SXAPS)”和"俄歇電子出現電勢譜(AEAPS)"兩種。前者靈敏度較低,一般需要毫安級的入射電子流,因而用於測定較深的芯能級(束縛能>500eV)時,可能會在樣品表面造成損傷。後者靈敏度較高,只需要10mA左右的入射電子流,損傷可以忽略,但缺點是較低能量(<300eV)的電子出射時會由於固體原子的衍射而產生附加信息,干擾正常譜的讀出。所以合理的辦法是在較低能量時用SXAPS而在較高能量時用AEAPS。
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從理論上說來,入射粒子也可以採用適當(相當於軟X 射線波段)的光子,這樣可完全避免對樣射遙紙品表面的損傷。但鑒於單色性良好的X射線源(例如同步輻射)目前尚不普遍,有人就使用能量漸變的電子轟擊金屬靶所產生的贗單色X 射線源作為入射粒子,而測定俄歇電子的產額。這就是所謂“X 射線光電子出現電勢譜(XPAPS)”。但實驗結果表明這種方法的靈敏度很低,不適於一般的表面分析。然而,巴照承如用某一元素的標識X 射線來照射另一個表面含有這一元素的樣品,則後者所對應的芯能級上的電子會產生共振躍遷,而在退激發時再產生俄歇電子。具體的作法是把同一固體材料分為兩塊:一塊作為受電子轟擊的X 射線管陽極(靶),另一塊作為被測樣品

分析結構

漸改變陽極電壓至某一閾值(出現戲墊電勢)而測定樣品的出射電子產額,可得到“共振光電子出現電勢譜(RPAPS) ”。由於共振躍遷具有選擇性濾波功能,因此RPAPS的靈敏度和解析度都優於一般的出現電勢譜,只是樣品的製備要略為複雜一些。
已經發現,出現電勢譜對各元素的相對靈敏度與俄歇電子譜(AES)不同,它對碳、氧、硫並不特別靈敏,卻能對3d和4f過渡金屬給出最佳靈敏度,因此適於作為探測這一類元素的表面分析。在能譜研究方面,APS能給出空帶態密度的信息,而AES給出的是滿帶態密度信息,二者是互補的。從APS也能看出氧化造成的譜位移,但不如X射線光電子譜(XPS)清晰。此外,也有人用AEAPS的譜邊形狀來測定表面結構。這種方法稱為“擴展出現電勢精細結構(EAPFS)”,與擴展X 射線吸收精細結構(EXAFS)的原理相類似,由於存在問題,目前尚用得不多。
同 APS的物理過程相類似的,還有一種消隱電勢譜(DAPS)。由於入射電子能量達到閾值時有一部分激發芯能級電子失去其能量,然後在固體中消隱,因此如觀察準彈性反射的電子流就會發現驟降,這同樣可作為固體原子EB的指示。實際上這就是APS的負過程。DAPS的特點是只與激發過程有關紙祖櫃戲,而不受退激發過程的干擾;而且由於所觀察的電子是從表面進入和發出的同一電子,因此比APS或AES更為“表面靈敏”(一般為1~3個原子層的信息)。但是DAPS要使用電子能量分析器以分離出電子流中準彈性反射的部分,因此儀器結構要比APS複雜。

使用設備

在出現電勢譜實驗中,採用的實驗儀器是出現電勢譜儀,它是測量出現電勢譜的能譜儀(appearance potential spectrometer)。在分析時,將試樣作為陰極靶,改變陰極電位,當轟擊靶的電子達到一定值時,樣品上出現帶有特徵陵捉夜的X射線螢光,把陰極電位(電子束的勢能)和X射線的強度作成圖譜即得到APS。為了消去背底噪音,通常採用電勢調製技術,實際的APS譜是軟X射線強度的二階導數與外加電壓關係。目前已觀察到出現電勢的元素有鈹、鎂、硼、氮、鉛和硫等三十多種。
APS可以確定靶材料的表面組分,測定束縛能、空帶能態密度和表面原子的電子結構等。APS設備較簡單、成本低,這是與離子束表面分析法相比的優點。目前它已成為研究金屬或合金偏析、氧化、腐蝕、催化等物理化學過程的有力工具之一。
同 APS的物理過程相類似的,還有一種消隱電勢譜(DAPS)。由於入射電子能量達到閾值時有一部分激發芯能級電子失去其能量,然後在固體中消隱,因此如觀察準彈性反射的電子流就會發現驟降,這同樣可作為固體原子EB的指示。實際上這就是APS的負過程。DAPS的特點是只與激發過程有關,而不受退激發過程的干擾;而且由於所觀察的電子是從表面進入和發出的同一電子,因此比APS或AES更為“表面靈敏”(一般為1~3個原子層的信息)。但是DAPS要使用電子能量分析器以分離出電子流中準彈性反射的部分,因此儀器結構要比APS複雜。

使用設備

在出現電勢譜實驗中,採用的實驗儀器是出現電勢譜儀,它是測量出現電勢譜的能譜儀(appearance potential spectrometer)。在分析時,將試樣作為陰極靶,改變陰極電位,當轟擊靶的電子達到一定值時,樣品上出現帶有特徵的X射線螢光,把陰極電位(電子束的勢能)和X射線的強度作成圖譜即得到APS。為了消去背底噪音,通常採用電勢調製技術,實際的APS譜是軟X射線強度的二階導數與外加電壓關係。目前已觀察到出現電勢的元素有鈹、鎂、硼、氮、鉛和硫等三十多種。
APS可以確定靶材料的表面組分,測定束縛能、空帶能態密度和表面原子的電子結構等。APS設備較簡單、成本低,這是與離子束表面分析法相比的優點。目前它已成為研究金屬或合金偏析、氧化、腐蝕、催化等物理化學過程的有力工具之一。

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