全氟碳化物排放減量一直是全球高科技產業所關注的議題,近年來,由於TFT LCD面板產業快速發展,全氟碳化物的使用量及排放量也日益增加,化學和生物學性能研究已達到了一個新水平,對其套用價值的探索也隨之深入。
基本介紹
全氟碳化物(PFCs)排放減量一直是全球高科技產業所關注的議題,近年來,由於TFT LCD面板產業快速發展,全氟碳化物的使用量及排放量也日益增加;根據中華人民共和國台灣省薄膜電晶體液晶顯示器產業協會(TTLA)歷年統計資料顯示,全氟碳化物排放主要來自SF6,約占95%之高。TFT LCD產業中的部分製程可以NF3替代,改用NF3具有較高的減量效益,可達到溫室氣體減量的目的。
奇美電在2007年和經濟部簽訂溫室氣體自願減量協定,自願加裝全氟碳化物處理設備,並投入大量資金與技術在NF3取代SF6的運作,以減低溫室氣體排放量,後續更將此技術同步導入4代和5代面板廠。