全氟丁基磺酸是分子量為562.47的化學物質。
基本介紹
- 中文名:全氟丁基磺酸
- 英文名:Triphenylsulfoniumperfluoro-1-butanesufonate
- 化學式:CF3(CF2)3SO3S(C6H5)3
- 分子量:562.47
- CAS登錄號:144317-44-2
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中文名稱
全氟丁基磺酸三苯基鋶鹽
英文名稱
Triphenylsulfoniumperfluoro-1-butanesufonate(TPS-PFBS,TPS-Nf)
分子式
CF3(CF2)3SO3S(C6H5)3
分子量
562.47
CAS登記號
144317-44-2
理化性質
白色結晶粉末,熔點:84-88℃,含量〉99%(電子工業級)。
溶解性:丙二醇單甲基醚酯(PGMEA):約50%,γ-丁基內酯:約65%,乙酸乙酯:約65%。
PAG-4L在樹脂和溶劑中溶解性能好,酸性強,純度高,熱穩定性高,揮發性低。
用途
表面活性劑(SAA),陽離子光引發劑,光致產酸劑(PAG),與全氟辛基磺酸三苯基鋶鹽(TPS-PFOS)相比,安全、衛生、低毒、環境友好,可作為目前157-nm、193-nm、248-nm光刻膠中常用光酸劑(PAG)全氟辛基磺酸三苯基鋶鹽(TPS-PFOS)的替代品。