光致溶解型感光高分子

光致溶解型感光高分子phvtn.}.;aluhle photosensitive poly-二。r指在光的作用下溶解度升高的高分子材料。

包括光降解型高分子和溶解性能倒轉高分子。前者分解後分子l}減小.溶解度往往會大幅度增加，後者在光作用一下引發光化學反應，某些反應的產物溶解性質會發生較大變化(如油溶性轉變成水溶性，或者相反)。在作為止性光刻蝕劑使用時為了提高速度和效率多添加增感劑或者使用能量較高的光線照射。有關光致溶解型感光高分子的性能和特點參見光分解型感光高分子(photvdecvmposing pholvsensitive polymer)和光降解型感光高分子(phntndegradr.6lc photosensitive poly=mcr )，光致溶解型感光高分子主要作為正性光刻蝕劑使用。