光學對準及封裝系統

光學對準及封裝系統是一種用於物理學領域的計量儀器，於2013年07月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學對準及封裝系統
• 產地：日本
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2013年07月22日
• 所屬類別：計量儀器

技術指標

7、發散角：

主要功能

光學對準及封裝系統是一套半自動化的光學對準、封裝設備，主要用於光波導器件製作時的光路對準及封裝等，具有精度高、重複性好、性能可靠穩定等特點。設備包含6軸精密調整架、光路調整元件、光學監測、光學封裝、顯示器等部分構成，直線調節台行程≥25×25×25mm、直線調節解析度20－100nm、直線調節重複性200nm。