傳統照明

傳統照明（Conventional illumination）為光刻中照明的一種，如圖1所示。

基本介紹

• 中文名：傳統照明
• 外文名：Conventional illumination

傳統照明是位於主光軸的一個圓盤形光源，光源的大小由其角半徑σ定義，0<σ<1，如圖1所示。傳統照明的光源越大（σ越大），離軸照明的成分就越多。掩模圖形進行曝光時，應選擇合適的角半徑σ，使得其曝光的圖形尺寸誤差儘可能的小。