低膨脹硼矽玻璃

這是一類具有較低熱膨脹係數和較高透光率的掩模基片材料。

基本介紹

• 中文名：低膨脹硼矽玻璃
• 外文名：Low expansion borosilicate glass

這種玻璃成分中包含60%的二氧化矽、5%的三氧化二硼、15%三氧化二鋁及微量其他氧化物。其具有比鹼石灰白冕玻璃更好的溫度特性和光學特性，熱膨脹係數約為5e-7，僅為白冕玻璃的一半左右。