低溫強磁場超高真空掃描隧道顯微鏡是一種用於物理學領域的計量儀器，於2016年9月2日啟用。
基本介紹
- 中文名：低溫強磁場超高真空掃描隧道顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2016年9月2日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 掃描隧道顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 快速進樣腔快速進樣腔位於製備腔和真空泵之間。平時處於粗真空。它的存在保證了在不破壞製備腔與轉換腔的超高真空的條件下，能夠從大氣向超高真空中傳入樣品。 2.製備腔製備腔上面裝有各種用於分子外延生長的蒸發源。當樣品或者襯底從快速進樣腔傳入後，將在這個腔中進行處理材料生長。該腔另外一個功能是在襯底上利用分子束外延的方法生長薄膜。 3.1400腔：低溫杜瓦內可以充入液氮，能夠通過連線在杜瓦上的正壓調節氣路使液氮或者液氦穩定的流過1K冷台，實現77低溫下的穩定測量。4.1500腔：可實現2.5K液氦溫度下的超高原子分辨測量。
主要功能
STM是一台超高真空-低溫-可進行光學擴展的掃描探針顯微鏡。它可以在超高真空中，對襯底進行加熱或者冷卻的條件下，利用分子束外延的方法製備薄膜樣品，並且利用掃描探針顯微鏡在超高真空-低溫-光學照射或收集的環境中對已經製備的薄膜進行測量。
