低氣壓多頻電漿與材料表面相互作用

《低氣壓多頻電漿與材料表面相互作用》是依託大連理工大學,由王友年擔任醒目負責人的重點項目。

基本介紹

• 中文名：低氣壓多頻電漿與材料表面相互作用
• 依託單位：大連理工大學
• 項目類別：重點項目
• 項目負責人：王友年
• 批准號：10635010
• 申請代碼：A2901
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：2007-01-01 至 2010-12-31
• 支持經費：220（萬元）

項目摘要

針對雙頻電容耦合、電感/電容耦合以及微波ECR/電容耦合等放電方式，研究低氣壓電漿的產生機理及約束方法；分別採用探針、光譜、質譜等實驗診斷手段和計算模擬方法研究不同電源的頻率及功率的匹配方式對電漿參數（電漿密度、電子溫度等）及化學活性粒子種類，以及入射到基片表面上離子能量和角度分布的影響，其中重點研究低頻電源對電漿狀態參數及鞘層特性的調製行為；建立這种放電電漿與基片表面相互作用的物理模型，研究頻率及功率的匹配效應對刻蝕率、刻蝕剖面及介質薄膜特性的影響，為雙頻電漿刻蝕和薄膜製備工藝的參數最佳化提供必要的科學依據。