低壓法

低壓法,全稱“低壓氣相沉積法”。在低壓、高溫條件下,由含碳氣體沉積成金剛石的方法。不需要複雜的高壓高溫設備,費用低。最有成效的是用化學氣相沉積法生長金剛石薄膜。金剛石在亞穩態形成,採用外延法生長金剛石。化學氣相法和物理氣相沉積法所能生產的是多晶金剛石薄膜。

基本介紹

  • 中文名:低壓法
  • 全稱:低壓氣相沉積法

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