位置反饋式伺服閥

位置反饋式伺服閥是指二級滑閥式位置反饋伺服閥結構。由電磁部分，控制滑閥和主滑閥組成。直接位置反饋型電液伺服閥的主閥心與導閥心構成直接位置比較和反饋。以滑閥作前置級的優點是功率放大係數大，適合於大流量控制。其缺點是滑閥閥心受力較多、較大，因此要求驅動力大；由於摩擦力大，使解析度和滯環增大；因運動部分質量大，動態回響慢；公差要求嚴，製造成本高。

上述工作過程中，動圈的位移量，一級閥心（導閥心）的位移量與主閥心的位移量均相等。因動圈的位移量與輸入信號電流成正比，所以輸出的流量和輸入信號電流成正比。設計時，將主閥心兩端容腔看成為驅動主閥心的對稱雙作用液壓缸，該缸由先導閥供油，以控制主閥心上下運動。由於導閥心直徑小，加工困難，為了降低加工難度，可將先導閥上用於控制主閥心上下兩腔的進油閥口由兩個固定節流孔代替，這樣先導閥可看成是由兩個帶固定節流孔的半橋組成的全橋。