人口調查資料審核是對所調查登記的人口資料進行完整性、及時性和準確性的檢查、核對與修正的過程。檢查資料的完整性，就是檢查已取得的調查資料是否包括所有應調查的單位，有無重複或遺漏現象，調查登記表是否齊全等。檢查資料的及時性，就是檢查所有應該提供資料的單位或個人是否都在規定的時間內提供了調查資料。檢查資料的準確性，則是檢查每一調查項目的登記是否正確，是否符合客觀事實，是否與填表說明的規定一致等。
人口調查資料的準確性，是決定其可用性的基礎。因此，對資料準確性的檢查，就成為人口調查資料審核的核心內容。其審核方法主要有邏輯檢查、計算檢查以及重新登記等。邏輯檢查是用邏輯推理的方法去審核所調查登記的資料是否合理。如登記資料中某人年齡5歲，文化程度是大學。顯然兩者之中必有一項是錯誤的。計算檢查是從數字計算中檢查資料是否有差錯，它包括計算口徑、計算方法以及計量單位等是否正確。重新登記則主要是用抽樣調查方式檢查人口普查登記的質量。對某些重要項目，還規定有允許的最高誤差率，抽樣結果超過規定標準的，還要對其總體進行全面複查。
