亞微米積體電路

典型線寬在亞微米(小於1u到O．5u)和深亞微米(O。5u以下至0．05u)尺寸的積體電路。目前典型的亞微米積體電路線寬為0．8u、0．5u，典型的深亞微米積體電路線寬為0．35u、0．25u、0．18u，小於0．1u的積體電路尚在實驗室研製之中。一般認為線寬小於0．05u(50納米)以下，將由量子效應需要有新的原理，超出了現在的微電子技術範圍。(1微米(u)；乾分之一毫米(mm)，1納米(nm)=乾分之一微米)