五氟化鉭，化學式TaF5，白色結晶。折光能力強。相對密度4.74。熔點96.8℃。沸點229.5℃。 基本介紹 中文名：五氟化鉭化學式：TaF5水溶性：溶於水和乙醚套用：生產電容器，也用於化學氣相沉積 tantalum pentafluoride分子式：TaF5稍溶於熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶於水和乙醚生成氟氧絡合離子TaOF52-和氟化氫，亦溶於氫氟酸、硝酸、發煙硝酸。在空氣中吸濕而不水解。能緩慢腐蝕玻璃。氟化金屬鉭製得。也可由五氯化鉭和無水氟化氫作用製得。用作傅-克反應的催化劑。用於生產電容器，也用於化學氣相沉積。鉭粉直接氟化可製取純度大於99%的產品。在微電子工業中用作氣相澱積矽化鉭或鉭，以製作低電阻高熔點的互連線。
