互連銅導線成分分析儀

互連銅導線成分分析儀

互連銅導線成分分析儀是一種用於自然科學相關工程與技術、材料科學領域的分析儀器,於2013年8月23日啟用。

基本介紹

  • 中文名:互連銅導線成分分析儀
  • 產地:法國
  • 學科領域:自然科學相關工程與技術、材料科學
  • 啟用日期:2013年8月23日
  • 所屬類別:分析儀器 > 光譜儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

光譜範圍:110nm至800nm; 解析度高達14pm,可同時分析60個元素.。

主要功能

輝光放電光譜儀(GDOES)不僅可對表面/深度進行剖析,同時也可做成分分析。它對固體材料,如金屬,金屬合金鍍層,半導體,有機鍍層,玻璃等中所有的元素都有很高的靈敏度,甚至是氣體元素也可進行分析。 作為新興的表面分析技術,輝光放電光譜儀憑藉其獨特的功能和特點,可以與XPS和SEM有很好的互補。

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