丙矽烷是一種英文名稱為Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane的化學物質。它的主要用途為半導體矽膜製造、非晶矽製造。
基本介紹
- 中文名：丙矽烷
- 英文名：Trisilane
- 別稱：Trisilicopropane
- 分子量：92.33
- 熔點： -117.4℃
- 沸點：53℃
簡介,英文名,用途,理化性質,基本概況,毒性及其安全防護,
簡介
英文名
Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane．
用途
半導體矽膜製造、非晶矽製造。
理化性質
液體密度(-117.4℃)： 725kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)：4.15kg/m3
比熱容(氣體，27℃)： 1256.04J/(kg·K)
粘度(20℃)：0.00318 Pa·s
基本概況
丙矽烷在常溫常壓下為可燃性有毒液體。它具有與矽烷類似的化學性質，但其反應性比矽烷和乙矽烷更強。在空氣中能自燃。它在空氣中的爆炸範圍不詳，但是可以估計、比矽烷的爆炸範圍還大。因此，當把它與空氣接觸時，為安全起見，必須把濃度控制存0.1%以下。丙矽烷的熱穩定性也比矽烷差，靠其放電能量也可使其分解成si和H2。它不溶於水，不與酸反應，但能與鹼反應生成矽酸和氫。與單體鹵素激烈反應。它無腐蝕性。
毒性及其安全防護
丙矽烷容器要存放在陰涼通風良好之處，要遠離熱源和火種，要與其它可燃性物質和腐蝕性藥品隔離，庫溫不宜超過40℃，避免陽光直射。搬運時要輕裝輕卸，嚴防容器受撞擊。
著火時要切斷氣源，通惰性氣體以控制火勢，單純靠滅火劑來滅火是不行的。
排放丙矽烷廢氣時，必須是在完全分解之後排放，或者是在嚴格控制之下燃燒掉。具體的作法如下：
(1)導入液化石油氣等連續燃燒的火焰中，使其一同燃燒掉。
(2)通入鹼性水溶液中，使其全部水解。
(3)通入鹼金屬(Na、Li等)的低級醇溶液中(約0.5%)，使其水解。
